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磷硅玻璃  的设备一般由本体、清洗槽、伺服驱动系统、机械臂、电气控制系统和自动配酸系统等部分组成，主要动力源有氢氟酸、氮气、压缩空气、纯水，热排风和废水。氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸与二氧化硅反应生成易挥发的四氟化硅气体。若氢氟酸过量，碎硅片回收，反应生成的四氟化硅会进一步与氢氟酸反应生成可溶性的络和物六氟硅酸

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