在计算机芯片行业中,被用于蚀刻电路的硅芯片已经变得比光的波长还要细小,而且工程师和科学家们相信,硅芯片的尺寸还有继续缩小的空间,至少目前的情况是这样的。但是,硅材料的物理尺寸极限终有一天会到来,从而终结由摩尔定律所定义的微电子时代。摩尔定律是由英特尔创始人之一戈登·摩尔(GordonMoore)于1965年提出来的,它指出:当价格不变时,集成电路上可容纳的晶体管数量大约每隔18个月便会翻一番,性能也将提升一倍。
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抛光过程分为两个步骤,切削和较终抛光。这两步都要用到抛光垫和抛光浆。切削过程是去除硅上薄薄的一层,以生产出表面没有损伤的晶圆片。较终抛光并不去除任何物质,只是从抛光表面去除切削过程中产生的微坑。
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