内集成电路发展现状来看,由于中国集成电路产业起步较晚,技术相对薄弱,以及国外技术出口的限制,国内集成电路产业一直处于落后状态。长期以来,国内集成电路产业严重依赖于进口,接近80%的芯片需要从国外进口,
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工艺用于太阳能电池片生产制造过程中,通过化学腐蚀法也即把硅片放在氢氟酸溶液中浸泡,使其产生化学反应生成可溶性的络和物六氟硅酸,以去除扩散制结后在
硅片表面形成的一层磷硅玻璃。在扩散过程中,POCL3与O2反应生成P2O5淀积在硅片表面。P2O5与Si反应又生成SiO2和磷原子,这样就在硅片
表面形成一层含有磷元素的SiO2,称之为磷硅玻璃。
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